摘要：针对磨粒流抛光中对超声发生器的功能有特殊要求的问题,专门设计制作了一种超声波发生系统,探讨了超声波发生器的3个主要组成部分即换能器、变幅杆和超声电源,研究了各部分的设计理论和具体参数的选择,指出了利用智能功率模块设计制作的超声发生器,有线路简单、体积小、功能全、成本低、性能好的优势,介绍了以FNA41560为主要功率元器件的超声发生器的设计,包括了主电路拓扑结构、保护、控制策略、阻抗匹配、频率跟踪、换能器、变幅杆等方面的内容,该样机在实际加工中获得了很好的效果。研究结果表明：在低频超声波发生器的领域,功率模块结合微处理器控制技术,有其他电子器件无法比拟的优势。

关键词：智能功率模块 超声发生器 d类放大器 igbt 

单位：浙江工业大学机械工程学院; 浙江杭州310014; 丽水学院浙江省特色文创产品数字化设计与智能制造重点实验室; 浙江丽水323000