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基于COMSOL的微带电极阵列关键结构优化

徐朋朋; 刘冲; 李扬; 王堃; 法丽扎; 李经民 机电工程技术 2019年第11期

摘要:为了研究不同特征尺寸对微带电极阵列电化学性能的影响,首先使用COMSOL有限元软件对不同特征尺寸微带电极阵列进行建模,分析了微带电极阵列表面电活性物质的浓度分布与循环伏安性能;然后,利用微加工技术制作了集成有不同特征尺寸微带电极阵列的微流控芯片,在亚铁氰化钾(K4[Fe(CN)6])溶液中对微带电极阵列的循环伏安性能进行测试;最后,根据仿真与实验结果推导修正公式,并验证修正公式的可靠性。结果表明,在0.5 mmol/L K4[Fe(CN)6]溶液进行扫速为1 V/s的循环伏安测试时,对于宽度为20μm和10μm的微带电极阵列,间距取40μm可避免屏蔽效应。优化后的结构对设计微带电极阵列具有指导意义。

关键词:微带电极阵列电化学检测电流响应微流控芯片循环伏安法

单位:大连理工大学机械工程学院; 辽宁大连116024; 大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室; 辽宁大连116024

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