摘要：对提出的差线栅位移传感器进行了介绍,其发明思想来源于游标卡尺的细分原理.它利用相对运动的两套标尺刻线数之差,在相同刻线条件下,在栅线之间形成了更多的物理量变化特点,得到更多的原始脉冲信号,等效于脉冲倍频或插值,达到提高分辨率的目的.介绍了这种传感器的设计思想、工作原理、波形分析、精度分析和样机试验效果等.传统的栅线刻制时只要求均匀,而研究结果证明,差线栅刻线的粗细、稀密,差线数大小将直接影响信号的多少、大小、波形和精度,因此将对传统的栅式位移传感器技术产生重要影响.

关键词：差线栅 位移传感器 试验效果 

单位：重庆工学院电子工程系; 重庆; 400050; 重庆大学机械传动国家重点实验室; 重庆; 400044