摘要：微纳米级器件的加工是MEMS系统的开发、应用的应用的关键技术之一。通过切削试验，设计出能加工最小直径为7μm的微细轴的金刚石车刀,其主要参数为:主偏角Kr=93°,副偏角K'r=30°,前角γ0=0°,后角α0=5°.然后以加工直径20 μm的轴为例,分析了进给量、背吃刀量以及主轴转速对微细轴成形和表面粗糙度的影响.研究结果表明,在微细轴的加工中,切削用量不仅对工作表面质量产生影响,而且关系到是否能够车削成形.在可成形范围内,进给量与表面粗糙度值成正比,具有显著的影响;背吃刀量、主轴转速对表面粗糙度的影响较小.最后试制了不同加工参数条件下的极限实例产品.

关键词：微细轴加工 精密切削 mems 微纳米器件 

单位：四川大学制造科学与工程学院; 成都; 610065; 中国工程物理研究院; 绵阳; 621900