摘要：研制开发两台高精度、高性能，具有自主知识产权的微细电火花加工机床，并对微细电火花加工机床的几个特有关键技术进行了深入研究。基于压电陶瓷的宏微伺服进给系统能实现分辨率为3．42nm的微进给，并且能实现振动式进给，以改善微细电火花加工的间隙状态，提高微细电火花的加工效率和加工质量。结合块电极反拷与线电极反拷的微细工具电极反拷系统，可高效高精度地现场制作微细电极，电极直径最小可达4μm。基于多传感器信息融合技术的放电间隙状态监测技术，能很好地解决微细电火花加工间隙状态的监测与识别问题。RC脉冲电源不存在维持电压现象，这一最新发现为降低单脉冲放电能量难题提供一个新的解决途径，使得基于RC方法开发的超微能脉冲电源的单脉冲放电能量最小降至皮焦级，为微细电火花加工奠定了良好的基础。最后的微细电火花加工试验表明，所开发的微细电火花加工机床性能稳定，且加工质量良好，尤其适合加工孔径为50～200μm的微细孔。

关键词：电火花加工 微细加工 机床 宏微驱动 超微能 

单位：烟台大学机电汽车工程学院; 烟台264005