《微细加工技术》于1983年创办，全刊信息多却有条有理，坚持打造交流思想和经验共享的主流平台，国内刊号为：43-1140/TN，创刊多年来受到许多读者的支持和喜爱。
Ⅰ、作者姓名的汉语拼音应姓前名后，姓氏全部字母为大写，名字的首字母大写，双名中间不加连字符不间隔；汉语拼音的作者姓名写在英文表示的工作单位之前；多位作者的署名之间以逗号隔开；不同单位的作者姓名右上角加注序号。
Ⅱ、来稿摘要应包含正文的目的、主旨、结论。
Ⅲ、编辑部实行稿件三审制，周期三个月。三个月后未接到本刊采用通知，稿件即可自行处理。请自留底稿，因人力与经费有限，来稿一律不退。
Ⅳ、文稿中的小标题请依次使用：一、二、三、……；（一）（二）（三）……；1.2.3.……；（1）（2）（3）……；①②③……。
Ⅴ、参考文献应依照引用的先后顺序标出，根据文献类型与文献载体代码（GB 3469）规定，以单字母方式标识以下各种参考文献类型。
| 学者姓名 | 发文量 | 主要研究主题 |
| 蔡炳初 | 44 | 微机电系统；MEMS；微机械；形状记忆合金；微驱... |
| 赵小林 | 37 | 微机电系统；MEMS；微机械；微机电系统技术；电... |
| 丁桂甫 | 27 | 微机电系统；MEMS；微机电系统技术；双稳态；微... |
| 杨春生 | 20 | 电极；MEMS；微机电系统；压电；微针 |
| 张玉林 | 20 | 电子束；电子束光刻；微机电系统；抗蚀剂；聚合... |
| 顾文琪 | 19 | 电子束曝光机；聚焦离子束；液态金属离子源；电... |
| 冯伯儒 | 19 | 光刻；相移掩模；光刻系统；干涉光刻；光刻技术 |
| 姚汉民 | 18 | 光刻分辨力；投影光刻物镜；原子束；光刻；光子... |
| 徐东 | 18 | 碳纳米管；形状记忆合金；微驱动器；纳米；图形... |
| 陈宝钦 | 17 | 电子束光刻；电子束曝光；电子束直写；抗蚀剂；... |
| 机构名称 | 发文量 | 主要研究主题 |
| 中国科学院 | 192 | 光刻；电子束曝光；曝光机；电子束... |
| 上海交通大学 | 129 | 微机电系统；电系统；机电系统；ME... |
| 清华大学 | 60 | 微细；光刻；微细加工；离子束；聚... |
| 中国科学技术大学 | 47 | 刻蚀；离子束；离子束刻蚀；光刻；... |
| 电子工业部 | 46 | 离子注入；注入机；离子注入机；半... |
| 中国科学院微电子研究... | 38 | 光刻；掩模；X射线光刻；电子束曝... |
| 中国科学院长春光学精... | 34 | 光栅；MEMS；刻蚀；光刻；传感 |
| 山东大学 | 29 | 电子束；电子束曝光；曝光机；电子... |
| 山东工业大学 | 28 | 电子束曝光；曝光机；电子束曝光机... |
| 华中理工大学 | 26 | 刻蚀；溅射；半导体；等离子体；离... |
| 涉及文献 | 资助项目 |
| 256 | 国家自然科学基金 |
| 65 | 国家高技术研究发展计划 |
| 54 | 国家重点基础研究发展计划 |
| 17 | 国家教育部博士点基金 |
| 15 | 国家重点实验室开放基金 |
| 13 | 山东省自然科学基金 |
| 11 | 中国科学院知识创新工程 |
| 10 | 中国博士后科学基金 |
| 8 | 上海市自然科学基金 |
| 8 | 中国科学院知识创新工程重要方向项目 |
| 涉及文献 | 资助课题 |
| 13 | 国家自然科学基金(90307003) |
| 12 | 山东省自然科学基金(Y2003G03) |
| 7 | 国家重点基础研究发展计划(2003CB716204) |
| 7 | 国家自然科学基金(59671051) |
| 7 | 山东省科技攻关计划(022090105) |
| 5 | 国家高技术研究发展计划(2004AA404260) |
| 4 | 国家高技术研究发展计划(2003AA404150) |
| 4 | 国家自然科学基金(10572078) |
| 4 | 国家自然科学基金(50275140) |
| 3 | 国家高技术研究发展计划(2003AA404140) |
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