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微细加工技术
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微细加工技术杂志

Microfabrication Technology

主管单位:信息产业部
主办单位:中国电子科技集团公司第48研究所
国际刊号:1003-8213
国内刊号:43-1140/TN
审稿时间:3-6个月
全年订价:¥ 190.00
创刊:1983
类别:电子类
周期:双月刊
发行:湖南
语言:中文
起订时间:
曾用名:微细加工技术
出版社:微细加工技术
邮编:410111
主编:伍三忠
库存:200
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微细加工技术杂志简介
微细加工技术杂志简介

《微细加工技术》创刊于1983年,是国家科委和国家新闻出版署批准,国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物,已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录,是《中国期刊网》、《中国学术期刊(光盘版)》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊,是《中国科学引文数据库》来源期刊。

《微细加工技术》杂志现已停刊,具体复刊时间以杂志社消息为准。

说明:该杂志未出现在最新新闻出版总署目录内,本站仅做历史信息展示,不提供任何服务。

微细加工技术杂志栏目
微细加工技术杂志荣誉
微细加工技术杂志收录
微细加工技术杂志数据统计
微细加工技术杂志影响因子
微细加工技术杂志发文量
微细加工技术杂志总被引频次
微细加工技术杂志发文分析

主要发文学者分析

学者姓名 发文量 主要研究主题
蔡炳初 31 心微机电系统;MEMS;微驱动器;微机械;形状记忆合金
赵小林 27 心微机电系统;MEMS;微机械;电磁驱动;射频
丁桂甫 21 心微机电系统;MEMS;双稳态;碳纳米管;微结构
顾文琪 18 心电子束曝光机;聚焦离子束;电子束曝光;液态金属离子源;图形发生器
张玉林 17 心电子束;微机电系统;电子束光刻;抗蚀剂;电子束曝光
姚汉民 15 心光刻;光子晶体;投影光刻物镜;光刻技术;光刻机
杨春生 15 心MEMS;微机电系统;电极;PARYLENE;压电
陈宝钦 15 心电子束光刻;电子束曝光;电子束;电子束直写;抗蚀剂
冯伯儒 15 心光刻;相移掩模;干涉光刻;光刻技术;光刻系统
徐东 15 心碳纳米管;形状记忆合金;微驱动器;MEMS;微泵

主要发文机构分析

机构名称 发文量 主要研究主题
上海交通大学 126 MEMS;微机电系统;机电系统;电系统;刻蚀
中国科学院 71 光刻;光刻机;投影光刻;掩模;投影光刻机
中国科学院电工研究所 65 电子束曝光;电子束曝光机;曝光机;光刻;图形发生器
清华大学 61 微细;微细加工;离子束;聚焦离子束;光刻
中国科学技术大学 48 刻蚀;衍射;离子束;离子束刻蚀;光刻
电子工业部 43 离子注入;注入机;离子注入机;半导体;半导体器件
中国科学院微电子研究所 38 光刻;掩模;X射线光刻;电子束曝光;电子束
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 33 光刻;光栅;传感;多层膜;刻蚀
山东大学 29 电子束;电子束曝光;电子束曝光机;曝光机;电子束光刻
山东工业大学 29 电子束曝光;电子束曝光机;曝光机;电路;电子束

主要发文主题分析

主题名称 发文量 相关发文学者
光刻 152 姚汉民;冯伯儒;李艳秋;谢常青;胡松
离子注入 105 张通和;杨建华;颜亨迪;张荟星;陈林
电子束曝光 78 顾文琪;陈宝钦;张福安;陈振生;薛虹
刻蚀 75 徐向东;蔡炳初;田扬超;朱效立;丁桂甫
半导体 72 郭华聪;覃志国;张鹏飞;程仲元;颜亨迪
电路 67 姚汉民;冯伯儒;郭华聪;覃志国;陈旭南
微细 65 王振龙;赵万生;俞学东;王学超;伊福廷
集成电路 61 姚汉民;冯伯儒;郭华聪;覃志国;陈旭南
微细加工 59 俞学东;王学超;伊福廷;毕建华;周光亚
曝光机 56 陈振生;顾文琪;魏守水;张福安;薛虹

主要资助项目分析

资助项目 涉及文献
国家自然科学基金 249
国家高技术研究发展计划 65
国家重点基础研究发展计划 54
国家重点实验室开放基金 20
国家教育部博士点基金 18
中国科学院知识创新工程 15
山东省自然科学基金 11
中国博士后科学基金 10
上海市自然科学基金 8
山东省科技攻关计划 7

主要资助课题分析

资助课题 涉及文献
山东省自然科学基金(Y2003G03) 7
国家自然科学基金(90307003) 7
国家重点基础研究发展计划(2003CB716204) 7
国家自然科学基金(60236010) 4
国家自然科学基金(90201025) 4
国家自然科学基金(90301002) 4
国家自然科学基金(60376020) 4
国家重点基础研究发展计划(2005CB724305) 3
国家高技术研究发展计划(2006AA03Z355) 3
国家自然科学基金(50390064) 3
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