《微细加工技术》杂志社地址：长沙市第96号信箱301分箱（长沙黑石铺）。
杂志社邮编：410111。
《微细加工技术》杂志于1983年创刊，国际刊号：1003-8213，国内刊号：43-1140/TN，现如今被知网收录(中)、维普收录(中)、万方收录(中)、EI 工程索引(美)、国家图书馆馆藏、上海图书馆馆藏等收录，是一本电子类部级期刊，刊期为双月刊，影响因子为0.19。
杂志所获的荣誉有：Caj-cd规范获奖期刊、北大图书馆收录期刊等。
杂志主要发文方向有：综述、电子束技术、离子束技术、光子束技术、薄膜技术、微机械加工技术、纳米技术等。
杂志主要发文主题有哪些？
| 机构名称 | 发文量 | 主要研究主题 |
| 中国科学院 | 192 | 光刻；电子束曝光；曝光机；电子束... |
| 上海交通大学 | 129 | 微机电系统；电系统；机电系统；ME... |
| 清华大学 | 60 | 微细；光刻；微细加工；离子束；聚... |
| 中国科学技术大学 | 47 | 刻蚀；离子束；离子束刻蚀；光刻；... |
| 电子工业部 | 46 | 离子注入；注入机；离子注入机；半... |
| 中国科学院微电子研究... | 38 | 光刻；掩模；X射线光刻；电子束曝... |
| 中国科学院长春光学精... | 34 | 光栅；MEMS；刻蚀；光刻；传感 |
| 山东大学 | 29 | 电子束；电子束曝光；曝光机；电子... |
| 山东工业大学 | 28 | 电子束曝光；曝光机；电子束曝光机... |
| 华中理工大学 | 26 | 刻蚀；溅射；半导体；等离子体；离... |
