《微细加工技术》杂志是部级期刊。
《微细加工技术》杂志基本信息
《微细加工技术》于1983年创办，全刊信息多却有条有理，坚持打造交流思想和经验共享的主流平台，国内刊号为：43-1140/TN，创刊多年来受到许多读者的支持和喜爱。
杂志主要发文机构有哪些？发文量分别是多少？
| 学者姓名 | 发文量 | 主要研究主题 |
| 蔡炳初 | 44 | 微机电系统；MEMS；微机械；形状记忆合金；微驱... |
| 赵小林 | 37 | 微机电系统；MEMS；微机械；微机电系统技术；电... |
| 丁桂甫 | 27 | 微机电系统；MEMS；微机电系统技术；双稳态；微... |
| 杨春生 | 20 | 电极；MEMS；微机电系统；压电；微针 |
| 张玉林 | 20 | 电子束；电子束光刻；微机电系统；抗蚀剂；聚合... |
| 顾文琪 | 19 | 电子束曝光机；聚焦离子束；液态金属离子源；电... |
| 冯伯儒 | 19 | 光刻；相移掩模；光刻系统；干涉光刻；光刻技术 |
| 姚汉民 | 18 | 光刻分辨力；投影光刻物镜；原子束；光刻；光子... |
| 徐东 | 18 | 碳纳米管；形状记忆合金；微驱动器；纳米；图形... |
| 陈宝钦 | 17 | 电子束光刻；电子束曝光；电子束直写；抗蚀剂；... |
| 机构名称 | 发文量 | 主要研究主题 |
| 中国科学院 | 192 | 光刻；电子束曝光；曝光机；电子束... |
| 上海交通大学 | 129 | 微机电系统；电系统；机电系统；ME... |
| 清华大学 | 60 | 微细；光刻；微细加工；离子束；聚... |
| 中国科学技术大学 | 47 | 刻蚀；离子束；离子束刻蚀；光刻；... |
| 电子工业部 | 46 | 离子注入；注入机；离子注入机；半... |
| 中国科学院微电子研究... | 38 | 光刻；掩模；X射线光刻；电子束曝... |
| 中国科学院长春光学精... | 34 | 光栅；MEMS；刻蚀；光刻；传感 |
| 山东大学 | 29 | 电子束；电子束曝光；曝光机；电子... |
| 山东工业大学 | 28 | 电子束曝光；曝光机；电子束曝光机... |
| 华中理工大学 | 26 | 刻蚀；溅射；半导体；等离子体；离... |
