摘要：提出一种快速制作聚二甲基硅氧烷（Poly（dimethylsiloxane）,PDMS）微流控芯片复型模具的新方法,并对其制作工艺进行研究。以液体光刻胶为模具材料,在液态下通过紫外光曝光使光刻胶固化而形成模具微结构。在整个制作过程中不需要对液体光刻胶进行烘烤,与目前使用较多的以SU-8光刻胶（一种负性环氧型光刻胶）为模具材料的制作方法相比,不仅简化制作工序,大大缩短制作时间,且避免加热产生的内应力导致的结构变形。该方法不需要昂贵的制作设备,所用原材料成本低廉。试验结果表明,所制作的模具微结构侧壁陡直、表面光滑,最大深宽比达5.7,在对PDMS材料的复型试验中获得良好的形状和尺寸精度。

关键词：微流控芯片 模具 液体光刻胶 曝光 显影 

单位：西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室; 西安710049; 西安理工大学理学院; 西安710048