摘要：通过对合成射流流场数值分析，得到合成射流鞍点特征及可控特性。基于对合成射流鞍点特征及其随激励条件变化规律的分析，获得调节合成射流基微泵的控制律。通过对调节控制和未调节控制下微泵的流体力学分析，对微泵控制律进行考核验证。验证结果显示：改变激励条件并相应调节分流板位置，合成射流新产生的“涡对”保持良好，微泵工作于设计状态；而分流板未控制调节下，由于分流板处于合成射流“涡对”形成和发展的关键区域，严重阻碍和破坏了合成射流“涡对”的形成和发展，合成射流对周围流体的卷吸量显著减小，微泵工作远离设计状态，泵流流量显著减小。研究结果表明：分流板控制律对微泵的控制是行之有效的，若激励器振动膜的振动幅值与激励电参数的关系已知，则可由改控制律得到微泵的电参数控制律，从而可以实现微泵的智能化控制。

关键词：微机电系统 微泵 合成射流 鞍点 控制律 

单位：国防科学技术大学航天与材料工程学院; 长沙410073