摘要：随着各种小型的非球面光学零部件的广泛应用,其成型模具的制造精度要求也日趋提高。针对目前我国尚未完全掌握非球面模具的超精密磨削技术的情况,对超精密单点磨削和形状误差补偿方法进行研究。利用在位接触式的测量系统的测量数据重构实际的磨削轮廓曲线。根据实际磨削轮廓与目标轮廓之间的法向距离,求解出法向残余误差,并提出基于超精密单点斜轴磨削的形状误差补偿方法。利用超精密磨床对口径为6 mm的超硬碳化钨的非球面光学模具进行超精密磨削、在位测量与误差补偿试验,经过两次循环,其形状精度（Peak to valley,PV）从449 nm改善至182 nm。

关键词：单点磨削 误差补偿 形状误差 非球面模具 碳化钨磨削 

单位：湖南大学机械与运载工程学院 长沙410082 湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心 长沙410082