摘要：微细球状电极在精微加工、测量领域有很大的应用空间,为制备低成本、高精度微细球状电极,提出新的制备工艺,在微细电解加工机床上运用微细电化学刻蚀（Micro electro-chemical machining,micro-ECM）—单脉冲放电加工（One pulse electro discharge,OPEG）组合技术制备微细球状电极,即先利用电化学刻蚀技术制备出微细圆柱状电极,然后利用单脉冲放电加工技术制备出前端的微球头。通过电极制备试验,研究各主要加工参数,如加工极性、加工电压、放电持续时间及峰值电流等对微细球状电极成形的影响,得出微细球状电极瞬时成形的基本规律。通过此方法成功地在电化学刻蚀出的直径15μm左右钨丝端部瞬间得到直径30μm左右微细球状电极。相对于线电极放电磨削技术（Wire electrode discharge grinding technology,WEDG）-OPEG组合技术,此方法更易于形成微细球状电极,加工成本低且表面质量好。

关键词：单脉冲放电 微细球状电极 精微加工 

单位：南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室 南京210016