摘要：回顾了超精密加工技术的发展，主要包括超精密加工设备的开发历程，以及超精密单点金刚石切削技术基础，并对微工程技术作一简要介绍；重点论述微结构自由曲面的微纳切削技术，包括单点金刚石车削（Singlepointdiamondturning．SPDT），快刀伺服加工（Fasttoolservo，FTS），金刚石微凿切（Diamondmicrochiseling，DMC），光栅铣削等技术。指出微结构自由曲面测量领域面临的挑战和存在的问题，包括接触式测量和非接触式测量。通过几个典型微结构自由曲面的加工及测量的应用进行举例说明；最后介绍我国在超精密加工机床领域内的研制情况，展望了超精密切削技术未来发展趋势。

关键词：微结构自由曲面 超精密加工 精密测量 切削机理 机床设备 

单位：香港理工大学超精密加工技术国家重点实验室伙伴实验室 中国香港00852 广东工业大学广东省微纳加工技术与装备重点实验室 广州510006