摘要：柔性铰链的圆半径、最小铰链厚度、杠杆臂长等结构尺寸参数极大地影响着基于柔性铰链的微位移工作台的性能,针对于一种常用的以双柔性平行四连杆机构作导向的二维微位移工作台,分析并推导出了工作台结构参数对各性能的影响公式,并用有限元分析的方法验证了这些公式的正确性.之后建立了约束优化问题的数学模型,以具体实例介绍了用有限元分析的方法进行优化求解,得出最优设计参数的过程.

关键词：柔性铰链 微位移工作台 优化设计 性能分析 机械设计 

单位：哈尔滨工业大学; 机电学院精密工程研究所; 黑龙江; 哈尔滨; 150001