摘要:微机电系(Micro Electro Mechanical Systems,MEMS)涉及多个物理域,多物理域的耦合加大了设计建模的难度。多学科设计优化方法(Multidisciplinary Design Optimization,MDO)是专门针对复杂系统的综合设计优化方法,在处理系统间的相互耦合问题上有着技术和方法上的优势。提出将多学科设计优化方法应用于MEMS的多物理域耦合设计,并对相应的多物理域耦合建模方法作出了分析研究。
关键词:微机电系统 多学科设计优化 耦合
单位:北京科技大学机械工程学院; 北京100083
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