摘要：分析了二维微动平台由于机构原因产生的两向间位移耦合现象，提出了一种采用线切割方式加工、具有对称式复合柔性四杆机构的微动平台结构形式，并使Y向平台完全镶嵌在X向平台内。通过理论分析和实验测试，其结果理想，为较好地解决二维微动平台两向间位移耦合问题提供了有效方法。

关键词：微动平台 复合平行四杆机构 镶嵌式结构 位移耦合 

单位：浙江机电职业技术学院机械工程系; 浙江杭州310053; 浙江大学机械工程系; 浙江杭州310027