摘要：靶球是惯性约束核聚变中一个关键物质,由于尺度效应产生的黏着问题导致微对象转移操作困难,针对该问题文中提出了基于液滴毛细作用和压电振动辅助的微对象操作方法。首先研究微尺度对象的毛细黏着机理,建立靶球拾取和释放的力学模型,分析拾取和释放过程各种微力的作用方式和影响因素。最后对100μm以下两种靶球进行操作转移试验并分析其释放精度和成功率,试验结果和数据验证了该分析方法的准确性。

关键词：靶球 黏着力 微操作 压电驱动 精度 

单位：天津工业大学机械工程学院; 天津300387; 天津市现代机电装备技术重点实验室; 天津300387