首页 > 期刊 > 科学中国人 > 关于微电子机械系统的力学问题分析 【正文】
摘要:在微电子机械系统当中,存在着许多力学问题,对这些力学问题的分析和研究工作是不可忽视的。本文就微构件材料的基本力学性能研究作出了阐述,以及分析计算微构件的力学问题,深入探讨了微电子机械系统中的各种力学问题。希望通过本文的分析,能对微电子机械系统中的力学问题给出有效见解。
关键词:微电子 机械系统 力学问题 研究分析
单位:大连育明高中
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