摘要：针对目前传统瓦斯传感器的缺点，借鉴现有的红外气体分析器的设计思路，研制了基于红外光谱吸收原理的红外瓦斯传感器．它采用开腔气室结构及单光束双波长探测技术，在实验室里通过对不同浓度的甲烷气体进行测量得到了其浓度反演式．在实验测量中，当瓦斯浓度小于22％时，误差为0．1％；当瓦斯浓度超过22％时，误差小于1％．

关键词：红外光谱吸收 瓦斯传感器 开腔测量 

单位：山西大学物理电子工程学院量子光学与光量子器件国家重点实验室; 山西太原030006