摘要：采用超磁致伸缩材料作为微致动器的主要材料,详细阐述了超磁致伸缩微致动器的结构及性能.通过建立超磁致伸缩微致动器的2D轴对称模型,利用有限元方法对微致动器的电磁结构进行优化.试验结果表明超磁致伸缩致动器在合适的偏置磁场及预压力作用下,能达到较佳的输出电流-位移及电流-输出力响应特性.

关键词：超磁致伸缩微致动器 静态特性 有限元法 

单位：浙江工业大学信息学院; 浙江大学现代制造工程研究所