摘要：用流体模型研究高功率微波气体击穿时，电子能量分布函数常被假设为麦克斯韦分布形式，此假设可能将给模拟结果带来较大的误差．通过求解玻尔兹曼方程，得到非平衡状态下的电子能量分布函数．分别将上述两类分布函数引入到流体模型中，对氩气击穿进行了数值模拟．结果表明，基于非平衡分布函数得到的击穿时间与粒子模拟结果符合得很好，而当平均电子能量较低时，麦克斯韦分布函数的高能尾部导致了较短的击穿时间．最后，采用非平衡分布函数计算了不同压强下的氩气击穿阈值，发现其与实验结果基本符合．

关键词：微波气体击穿 电子能量分布函数 流体模型 玻尔兹曼方程 

单位：西南交通大学 电磁场与微波技术研究所 成都610031