摘要：采用氧化硅材料构建了Cu/SiOx/Al的三明治结构阻变存储器件。用半导体参数分析仪对其阻变特性进行测量,结果表明其具有明显的阻变特性,并且通过调节限制电流,得到了四个稳定的阻态,各相邻阻态的电阻比大于10,并且具有良好的数据保持能力。在不同温度条件下对各个阻态进行电学测试及拟合,明确了不同阻态的电子传输机理不尽相同：阻态1和阻态2为欧姆传导机制,阻态3为P-F （Pool-Frenkel）发射机制,阻态4为肖特基发射机制。根据电子传输机制,建立了铜细丝导电模型并对Cu/SiOx/Al阻变存储器件各个阻态的电致阻变机制进行解释。

关键词：阻变存储器 siox薄膜 多值存储 阻变机理 

单位：天津理工大学电子信息工程学院 天津市薄膜电子与通信器件重点验室 天津 300384