摘要：铜作为一种在化学气相沉积法制备石墨烯中被广泛采用的衬底材料，其表面形貌和质量对石墨烯的品质有较大的影响．提出了一种简单有效的铜衬底预处理方法，在生长石墨烯前，将铜衬底在浓度为1mol／L的硝酸铁水溶液中进行预刻蚀，研究了不同刻蚀时间的影响．发现当预刻蚀时间为90S时，经石墨烯生长后得到了相对平整且无杂质颗粒的表面；与盐酸预刻蚀及电化学抛光方法进行了比较，实验结果表明，硝酸铁溶液预刻蚀的效果优于盐酸处理，可与电化学抛光效果比拟，且操作更为简单快捷．经过不同型号铜衬底实验验证，此方法具有普遍适用性．

关键词：石墨烯 铜 预处理 化学气相沉积 

单位：上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室 上海200072 上海大学材料科学与工程学院 上海200072