摘要：基于Bragg反射光栅是一维光子晶体的一种特例结构，本文提出利用一维光子晶体带隙理论进行Bragg反射光栅设计．通过光学仿真软件OptiFDTD对Bragg反射光栅的宽度及倾斜角度误差的仿真分析，发现Bragg光栅齿刻槽宽度变化在10％范围、倾斜角度10°以内不会引起Bragg光栅衍射效率的明显变化，说明Bragg反射光栅具有较高的工艺误差容限；根据一维光子晶体带隙理论，设计了一种罗兰圆结构的Bragg衍射双光栅结构模型，实现了两个频段之间的衍射分光，优化分析结果表明：当第一套光栅中Bragg周期层数为6、第二套光栅Bragg周期层数为10时，两频段波长的衍射效率均可以达到70％左右，明显高于传统深刻蚀的衍射光栅．基于本设计的波分复用器是一种尺寸小、衍射效率高的新型EDG波分复用器，为未来高效密集型EDG波分复用器发展提供了一种新的设计思路．

关键词：bragg蚀刻衍射光栅 衍射效率 罗兰圆双光栅 

单位：西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室 陕西省信息光子技术重点实验室 西安710049