摘要：针对谐振式微腔的应用需求,提出了一种新型三环谐振式微腔结构,类似于原子系统中的电磁诱导透明,耦合诱导透明（CRIT）效应在一个新的光学微腔系统中已被实验证明.该结构在硅基上由三个尺寸完全一样的微环腔组成,通过理论分析、制备和实验测试,能够观察到CRIT现象,其频谱具有低群速的狭窄透明峰,与光栅耦合器的耦合效率为34%,并且谐振器的品质因数达到了0.65×105,同时,失谐的谐振波长可以通过温度变化来控制,这在旋转传感、光滤波器、光存储器等方面的应用有重要意义.

关键词：耦合诱导透明 三环谐振器 耦合效率 品质因数 

单位：北京理工大学自动化学院 北京100081 电子测试技术重点实验室 太原030051 中北大学、仪器科学与动态测试教育部重点实验室 太原030051