摘要：本文基于飞秒激光模间拍频法实现多波长相位式绝对距离测量,通过改变光频梳重复频率合成波长扩大测距量程,并采用监测臂和双快门切换系统补偿和消除由电路产生的相位差单向漂移和大幅抖动.实验中以20倍重复频率的拍频进行测量,在30 min内相位测量的标准偏差为0.022？;与双频激光干涉仪比对1125 mm行程内位移测量结果,测距精度优于50μm;实验验证了合成波长方法扩大量程方案的可行性,获得的测距重复性优于3μm,该系统理论上可扩展量程至7.5 km.

关键词：模间拍频法 飞秒激光 大尺寸测距 

单位：清华大学精密仪器系 精密测试技术及仪器国家重点实验室 北京100084 北京卫星环境工程研究所 北京100094