摘要：本文提出了一种基于合成波长法的飞秒激光外差干涉测距方法.系统采用两个带通滤波器产生两个具有一定波长差的单波长,用于产生合成波长.本方法结构简单,能量利用率高.与双频激光干涉仪在40 mm范围内的比对结果表明,该方法比对残差的标准差为91 nm.

关键词：频率梳 外差干涉 绝对距离测量 合成波长法 

单位：清华大学精密仪器系、精密测试技术及仪器国家重点实验室; 北京100084; 北京卫星环境工程研究所; 北京100094