摘要：本文针对激光等离子体X射线诊断的需求,设计开发了移位双光栅X射线谱仪.该谱仪采用高线对密度和低线对密度的两种光栅组成移位双光栅作为核心衍射组件,高密度光栅能够提高中、高能区（1000—5000 eV）的能谱分辨率,低密度光栅足够满足低能区（100—1000 eV）测量的能谱分辨率要求,控制了低能区谱线的分布空间,保证足够的测量范围.两种光栅相互配合实现了谱仪整体性能提升.本文提出了移位双光栅X射线谱仪结构设计方法和参数指标,完成了移位双光栅X射线谱仪的集成调试和实验应用,获得了时间分辨的X光谱实验数据,测谱范围0.1—5.0 keV,谱分辨0.04 nm,时间分辨好于30 ps.移位双光栅X射线谱仪可以最大程度地利用记录面的长度,实现高时间分辨和宽谱X射线测量.

关键词：移位双透射光栅谱仪 惯性约束聚变 衍射效率 时间分辨光谱 

单位：中国工程物理研究院激光聚变研究中心; 绵阳621900; 中国工程物理研究院惯约实施管理中心; 绵阳621900; 电子科技大学能源科学与工程学院; 成都611731; 中国科学院微电子研究所; 北京100029