《微纳电子技术》杂志是统计源期刊。
《微纳电子技术》杂志基本信息
《微纳电子技术》于1964年创办，全刊信息多却有条有理，坚持打造交流思想和经验共享的主流平台，国内刊号为：13-1314/TN，创刊多年来受到许多读者的支持和喜爱。
《微纳电子技术》汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态。
杂志主要发文机构有哪些？发文量分别是多少？
| 学者姓名 | 发文量 | 主要研究主题 |
| 刘玉岭 | 87 | 化学机械抛光；CMP；抛光液；去除速率；ULSI |
| 王辰伟 | 48 | CMP；阻挡层；抛光液；碱性抛光液；化学机械抛... |
| 杨拥军 | 36 | MEMS；微电子机械系统；微机械；硅；传感器 |
| 熊继军 | 34 | 无线无源；MEMS；压力传感器；传感器；高温压力... |
| 郭维廉 | 33 | 共振隧穿二极管；RTD；负阻器件；共振隧穿器件... |
| 蔡理 | 32 | 单电子晶体管；量子元胞自动机；QCA；积分器；... |
| 张文栋 | 31 | 矢量水听器；MEMS；加速度计；电容式；微机械 |
| 赵正平 | 30 | GAN；高电子迁移率晶体管；MEMS；HEMT；MMIC |
| 黄庆安 | 26 | MEMS；风速风向传感器；微电子机械系统；无源无... |
| 胡松 | 26 | 光刻机；工件台；光刻；掩模；生物芯片 |
| 机构名称 | 发文量 | 主要研究主题 |
| 中国科学院 | 309 | 纳米；光刻；晶体管；MEMS；传感 |
| 中北大学 | 239 | MEMS；微电子；微电子机械；微电子... |
| 中国电子科技集团第十... | 225 | 微电子；微电子机械；微电子机械系... |
| 河北工业大学 | 183 | CMP；化学机械抛光；机械抛光；抛... |
| 上海交通大学 | 147 | 纳米；微电子；微电子机械；微电子... |
| 太原理工大学 | 113 | 纳米；传感；感器；传感器；气敏 |
| 中国科学院微电子研究... | 111 | 光刻；纳米；电子束光刻；金属；感... |
| 清华大学 | 74 | 感器；传感；传感器；自旋；纳米 |
| 专用集成电路与系统国... | 60 | 隧穿；迁移率；共振隧穿；RTD；MEM... |
| 中国科学院大学 | 60 | 微电子；MEMS；微电子机械；微电子... |
