微纳电子技术杂志是北大期刊。
微纳电子技术杂志基本信息
《微纳电子技术》于1964年创办，全刊信息多却有条有理，坚持打造交流思想和经验共享的主流平台，国内刊号为：13-1314/TN，创刊多年来受到许多读者的支持和喜爱。
《微纳电子技术》汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态。
杂志主要发文机构有哪些？发文量分别是多少？
| 机构名称 | 发文量 | 主要研究主题 |
| 中国科学院 | 296 | 纳米；光刻；晶体管；MEMS；量子 |
| 中北大学 | 213 | MEMS；微电子；微电子机械；微电子机械系统；传感 |
| 中国电子科技集团第十三研究所 | 206 | 微电子；微电子机械；微电子机械系统；MEMS；激光 |
| 河北工业大学 | 177 | CMP；化学机械抛光；机械抛光；抛光液；去除速率 |
| 上海交通大学 | 140 | 纳米；MEMS；微电子；微电子机械；微电子机械系统 |
| 中国科学院微电子研究所 | 106 | 光刻；纳米；电子束光刻；金属；感器 |
| 太原理工大学 | 86 | 纳米；感器；传感；传感器；气敏 |
| 中国科学院大学 | 80 | MEMS；微电子；纳米；感器；传感 |
| 清华大学 | 73 | 感器；传感；传感器；自旋；纳米 |
| 中国电子科技集团公司 | 59 | 纳电子学；单晶；MEMS；化学机械抛光；机械抛光 |
| 主题名称 | 发文量 | 相关发文学者 |
| 纳米 | 634 | 王太宏；张亚非；薛成山；邹小平；相文峰 |
| 传感 | 429 | 熊继军；梁庭；谭秋林；杨拥军；张文栋 |
| 传感器 | 412 | 熊继军；梁庭；谭秋林；杨拥军；张文栋 |
| 感器 | 411 | 熊继军；梁庭；谭秋林；杨拥军；张文栋 |
| MEMS | 375 | 杨拥军；张文栋；张国军；高杨；丑修建 |
| 微电子 | 283 | 杨拥军；高杨；张国军；张文栋；徐淑静 |
| 微电子机械 | 254 | 杨拥军；高杨；张国军；徐淑静；雷程 |
| 微电子机械系统 | 252 | 杨拥军；高杨；张国军；徐淑静；雷程 |
| 半导体 | 232 | 陈宏泰；杨红伟；安振峰；张世祖；花吉珍 |
| 电路 | 198 | 李惠军；蔡理；郭维廉；杨晓阔；牛萍娟 |
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