《微纳电子技术》杂志论文投稿要求：
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杂志发文主题分析如下：
| 机构名称 | 发文量 | 主要研究主题 |
| 中国科学院 | 309 | 纳米；光刻；晶体管；MEMS；传感 |
| 中北大学 | 239 | MEMS；微电子；微电子机械；微电子... |
| 中国电子科技集团第十... | 225 | 微电子；微电子机械；微电子机械系... |
| 河北工业大学 | 183 | CMP；化学机械抛光；机械抛光；抛... |
| 上海交通大学 | 147 | 纳米；微电子；微电子机械；微电子... |
| 太原理工大学 | 113 | 纳米；传感；感器；传感器；气敏 |
| 中国科学院微电子研究... | 111 | 光刻；纳米；电子束光刻；金属；感... |
| 清华大学 | 74 | 感器；传感；传感器；自旋；纳米 |
| 专用集成电路与系统国... | 60 | 隧穿；迁移率；共振隧穿；RTD；MEM... |
| 中国科学院大学 | 60 | 微电子；MEMS；微电子机械；微电子... |
杂志往期论文摘录展示
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