摘要：半导体生产线造价昂贵，制造工艺复杂．其维护具有维护费用高、维护难度大等特点．为了降低生产系统的整体维护成本，保证整个生产系统的稳定运行，本文通过伽马过程描述设备退化规律，对设备的衰退情况进行分类维护．针对随机退化的生产线提出考虑机会维护的预防性维护建模方法．以总维护费用最小化为目标，建立了维修费用模型，结合更新定理给出了模型求解的方法，对检测周期等参数进行优化分析．并分析了检测成本、间隔时间相互影响关系．仿真结果表明建立的预防性维护模型可行且有效．

关键词：费用模型 预防性维护 检测间隔时间 机会维护 

单位：广东工业大学机电工程学院; 广州510006