摘要：晶圆制造生产线由于存在回流、并发、资源共享、随机性的重做以及突发性设备故障等现象，使得生产管理及调度问题变得极为复杂。建立描述系统的模型是优化系统性能的前提，指出了用Petri网建立晶圆制造系统模型的优点，建立了一个拥有4个工作中心、8台设备的晶圆制造系统Petri网模型，并对模型进行分析。最后提出了下一步的工作目标。

关键词：petri网 半导体晶圆 制造系统 建模 生产线 

单位：上海理工大学工业工程研究所/微电子发展研究中心; 上海200093