摘要：应用氧离子注入(Separation by Implantation of Oxygen)SIMOX技术,制作适合于高温环境条件下的固态压阻式硅隔离(SOI)压力敏感元件.采用了一种新型梁膜结合封装工艺,有效地解决了被测压力高温冲击问题,可应用于航空、航天发动机等恶劣环境下的压力测量.

关键词：氧离子注入 simox技术 高温压力传感器 研制 硅隔离 

单位：西安交通大学精密工程研究所; 西安; 710049