摘要：要制作尺寸达200mm×200mm、最小线宽为1μm的二元光学元件,设备传动系统必须满足大行程、亚微米级定位精度的需求.通过比较滚珠丝杠传动、直线电机传动及摩擦传动的优缺点,提出了采用滚珠丝杠驱动气体静压导轨实现粗定位、压电陶瓷驱动柔性铰链实现精确定位、用高精度光栅尺实现闭环反馈控制的技术方案.对导轨刚度及固有频率、丝杠刚度及固有频率、柔性铰链的转角刚度、光栅尺的反馈误差等影响系统精度的主要因素进行了分析.HP5528A双频激光干涉仪的检测结果表明:传动系统位移灵敏度达到了0.03μm,定位精度小于0.20μm/100mm.

关键词：柔性铰链 转角刚度 传动系统 双频激光干涉仪 高精度 

单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，长春130033／／中国科学院研究生院，北京100039