摘要：在用面阵CCD进行尺寸检测时,由于CCD平面与被测尺寸平面不平行而带来了误差.利用齐次坐标变换建立了从工件平面到CCD平面的坐标变换关系,推导尺寸投影变换关系及误差表达式和最大误差公式,并讨论了误差变化的规律及减小或消除这一误差的方法.
关键词：ccd 尺寸检测 误差
单位：太原理工大学; 太原; 030024
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