摘要：研制了一种采用0.35μm标准CMOS工艺制造的,集成ISFET/REFET及其信号处理电路于一体的集成化芯片系统(SOC).其中ISFET敏感膜为采用电化学法制备的导电聚合物Ppy(Polypyrrole,聚吡咯),通过对各种条件的优化,最终得到了pH响应为56mV/pH的高灵敏度.

关键词：离子敏场效应管 聚吡咯 敏感膜 集成化芯片系统 

单位：中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室; 北京; 100080; 中国科学院研究生院; 北京; 100080; 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室; 北京; 100080; 中国科学院研究生院; 北京; 100080; 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室; 北京; 100080; 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室; 北京; 100080; 中国科学院研究生院; 北京; 100080; 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室; 北京; 100080; 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室; 北京; 100080