摘要：薄膜样品相比半导体材料，电阻更小且材质脆弱，现有的四探针电阻率测量设备无法满足其测量要求。双电测组合法基于薄层原理，不需要尺寸修正，更适合应用于薄膜样品，且能适应小尺寸样品的测量。但是双电测组合法需要在测量过程中切换电路连接，且修正函数计算繁复。虚拟仪器技术将测量设备和计算机结合，编程完成测量过程和数据处理过程。本文介绍应用虚拟仪器技术实现双电测组合法自动化薄膜电阻率测量系统的过程，结合测量结果说明系统性能以及环境参数对测量结果的影响。

关键词：薄膜电阻率 双电测组合法 虚拟仪器技术 

单位：华中科技大学电子科学与技术系 武汉430074