摘要：利用虚拟仪器技术开发了高载条件下MEMS动态测试系统，实现了高载条件的监测与MEMS动态测试的自动控制。设计了高速离心转盘提供高载环境，选用压电陶瓷作为动态测试的激励装置，应用高速导电滑环传输数据。测试中的高频响应信号按DMA方式采集，此过程占用系统DMA资源，与监测相互冲突。提出上位机通过TCP／IP协议控制下位机进行高速采集的方法，解决了冲突问题。本文对系统的总体设计、软件技术、系统功能等方面做出详细阐述。

关键词：mems 动态测试 高载 虚拟仪器 

单位：大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室 大连116024