摘要：提出了一种非接触检测工件表面粗糙度的新方法。利用光学测量显微镜景深小这一特点,将CCD沿金属表面垂直方向等间距拍摄部分聚焦的序列图像,然后采用方差聚焦测度算子确定融合图像中每点所属的高度层次,利用高斯插值方法计算微观物体表面更准确的高度信息,重构了三维微观形貌。同时探讨了三维表面粗糙度参数表征的可行性,通过与二维表面粗糙度参数的对比实验,验证了其正确性和可靠性。该方法对表面粗糙度的在线检测和更完整地表征3D形貌等方面具有参考价值。

关键词：表面粗糙度 方差融合 聚焦测度算子 三维重构 

单位：西安理工大学机械与精密仪器工程学院 西安710048