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基于S参数传输法的石英晶体静电容测量

董政洁 刘桂礼 王艳林 李东 仪器仪表学报 2011年第04期

摘要:介绍了使用S参数传输理论测量石英晶体静电容的方法。以π网络测量石英晶体电参数的硬件电路为测试平台,采用Agilent公司自动矢量网络分析仪E5070B测量标称频率为16.934 4 MHz的石英晶体的两端对S参数。由网络分析方法中二端口参数的转换关系测量晶体的阻抗,以石英晶体两端对等效电路模型为基础,根据谐振频率附近30个频率点处的晶体阻抗可以精确测量静电容。测量结果证明,两端对S参数传输法可以精确稳定地测量石英晶体静电容,为石英晶体其他电参数的精确测量奠定良好基础。

关键词:静电容s参数传输法二端对等效电路矢量网络分析

单位:北京信息科技大学 北京100192

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