摘要：针对纳米操作和装配过程中面临的由AFM单探针带来的物体丢失和操作效率低等问题，通过对纳米粒子推动实验的分析，建立了纳米粒子推动操作的运动学模型。该模型充分考虑了推动速度及探针磨损两个因素，引入了与速度相关的粘滞摩擦力，并利用空间配置的方法解决了探针针尖半径对操作结果的影响。该模型能够预测推动操作后粒子的可能位置，从而可以避免操作过程中粒子丢失的现象，能够提高纳米操作效率。数值模拟结果与多次实验操作结果相对比，验证了所建模型的有效性。

关键词：纳米粒子 运动学模型 推动速度 探针磨损 afm 

单位：东北大学信息科学与工程学院 中国沈阳110004 中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室 中国沈阳110016 日本千叶工业大学千叶275-0016日本 沈阳建筑大学信息与控制工程学院 中国沈阳110168