摘要：对于含有光反馈的半导体激光器，在外部物体作简谐振动的条件下，对自混合干涉信号的理论模型进行了理论分析和仿真验证，构建了基于自混合干涉效应的微位移测量系统。在分析理论模型的基础上，研究了自混合干涉功率信号的处理方法。基于相位展开的原理，提出了一种实时重构被测体微小位移的方法，在不考虑噪声和干扰的条件下，对于不同光反馈水平下的外腔反射体位移波形均具有很好的再现效果，最大重构误差为28nm。实验结果和理论分析相吻合，验证了所提算法的有效性。

关键词：光反馈 自混合干涉 位移重构 相位展开 

单位：燕山大学测试计量技术及仪器河北省重点实验室 秦皇岛066004 燕山大学工业计算机控制工程河北省重点实验室 秦皇岛066004