摘要：针对多工况间歇过程受噪声等影响使数据呈现出离群点、非线性等特征，本文提出一种基于鲁棒测地线距离（RGD）的故障检测方法。首先利用局部离群概率（LOP）剔除离群点之后标准化，减轻噪声干扰，提高故障检测的鲁棒性；接着，采用多向主元分析（MPCA）进行特征提取，获得主元；然后，在主元空间求得赋权邻接矩阵，通过改进的迪科斯彻（IDijkstra）算法计算各批次间的测地线距离，表征数据间的实际最短距离，从而更好地体现批次数据间的局部近邻关系。最后，通过构造测地线距离α次方统计量 LoD 进行过程故障检测，与欧氏距离平方和统计量相比可提高样本的有效性，减小边缘训练数据距离的偏离程度。在人工三臂螺旋数值仿真和半导体工业实例中进行应用，结果表明了所提算法的有效性。

关键词：多工况 间歇过程监视 局部离群概率 测地线距离 改进迪科斯彻算法 

单位：沈阳化工大学信息工程学院 沈阳110142