摘要：针对数据采集误差严重影响激光位移传感器(LDS)测量精度的问题,基于激光三角法测量原理,分析了激光束和会聚光斑质心对系统测量精度的影响,建立了定量计算LDS物面倾角误差和感光元件倾角误差的数学模型。采用该模型,可对LDS采集数据进行实时补偿。实验结果表明,引入两个补偿模型对测量结果进行修正后,不仅大幅提高了LDS的数据采集精度,使其测量误差控制在0.008 mm以内,而且提升了LDS在自由曲面中的测量精度。

关键词：激光位移传感器 自由曲面 精密测量 在机测量 

单位：沈阳工业大学机械工程学院; 沈阳110870; 沈阳工业大学信息科学与工程学院; 沈阳110870; 天津大学