摘要：针对C/SiC复合材料制造的航空发动机热端部件瞬时表面温度监测困难的问题,研究了一种C/SiC复合材料瞬时表面温度测量方法。采用磁控溅射法结合电镀工艺在C/SiC复合材料表面沉积了Ni-Cr-ZrO2复合过渡层,采用磁控溅射法在Ni-Cr-ZrO2复合过渡层上依次制备了SiO2绝缘膜、NiCr/NiSi薄膜热电偶和SiO2保护膜。对不同厚度SiO2绝缘膜的绝缘性能进行研究,结果表明3μm厚的SiO2薄膜绝缘电阻值可达1.64×109Ω。对传感器静态性能的实验研究结果表明,在50~600℃,塞贝克系数为42.1μV/℃,非线性误差1.52%。用理论计算与实验结合的方式对传感器的动态性能进行了研究,结果表明,传感器的动态响应时间在微秒级,可实现瞬态温度测试。对传感器进行测温实验,结果表明传感器能满足室温~600℃范围内瞬态温度检测的需求。

关键词：瞬态温度 金属过渡层 薄膜热电偶 动态性能 

单位：大连交通大学机械工程学院; 大连116028