摘要：为减小测量误差，设计了基于垂直位移扫描的接触式表面形貌仪。该测量仪以保持杠杆处于平衡位置为测量前提，X_Y向，Z向工作台分别采用衍射光栅为标准器；X—Y向工作台采用直线电机和压电陶瓷分别进行粗、细两级定位，Z向电机采用压电陶瓷驱动微定位。总体论述了该仪器的整体结构、测量原理、工作台的定位控制以及衍射光栅干涉信号的处理等内容。测量结果表明该系统有效地提高了测量精度。

关键词：表面轮廓仪 衍射光栅 直线电机 压电陶瓷 

单位：湖北襄樊学院机械工程系; 襄樊441053; 华中科技大学机械学院仪器系; 武汉430074