摘要：为解决薄膜生产过程中厚度在线检测问题，以提高产品质量和生产效率，对薄膜厚度在线测量系统进行了研究。基于光学三角法测量原理，以ARM920T为核心处理器、嵌入式Linux为操作系统，构造了系统的软硬件平台，并介绍了系统的硬件组成和软件设计方法。实际生产过程应用表明，该系统能够实现薄膜厚度的在线动态检测和非接触测量，具有高速度、高精度、人机界面友好等特点，在微小厚度变化量的检测领域具有广阔的应用前景。

关键词：光学三角法 薄膜厚度 在线测量 arm920t内核 嵌入式linux 

单位：哈尔滨工业大学航天学院 黑龙江哈尔滨150001 黑龙江八一农垦大学信息技术学院 黑龙江大庆163319