摘要：研究了一种烘烤控制方法在透射电子显微镜中的应用,通过分析透射电子显微镜获得高真空的方法,提出引入物镜烘烤的必要性。对物镜烘烤的控制特点进行了详细分析,并对控制电路进行了仿真分析。经过反复测试验证,该物镜烘烤控制方法符合透射电子显微镜获得高真空工艺的控制要求。

关键词：物镜 烘烤 真空获得 热敏电阻 

单位：聊城大学东昌学院 山东聊城252000