摘要：超声波电机与传统电磁型电机不同,它是一种靠摩擦驱动的新原理电机,具有响应快分辨率高等特点,为充分发挥这一特点,使之具有高精度的定位能力,该文介绍一种精密定位控制方法.文中首先从理论和实验上揭示这种电机具有的高分辨率和步进特性实质,提出了利用此特性实现高精度的定位控制策略--步进定位法,并分析了影响其定位精度的因素,结合所研制的纵扭复合型超声波电机样机,实现了高精度(0.010°)的定位控制,说明此电机可用于高精度机构如MEMS等的驱动.

关键词：超声波电机 步进特性 步进定位控制 模糊控制 数学模型 

单位：浙江大学电气工程学院; 浙江; 杭州; 310027