摘要：光学电流传感器解决了传统电流互感器的缺点，但仍然存在生产困难、性能易受环境温度影响等不足，MEMS作为一种新兴技术，可批量生产各种性能良好的微电子器件，该文提出了将MEMS技术用于检测高压交流电的光学电流传感器。高压侧的传感装置由Rogowski线圈、MEMS扭转微镜和双光纤准直器组成。文中介绍了器件的高压侧敏感原理和光学检出原理，给出了器件的结构参数条件、模态分析和温度补偿结果，并利用ANSYS与Matlab软件对器件的性能进行了仿真模拟和分析。理论结果表明：温度补偿后，温度变化±50K时测试误差为0．2％，400A、2000A电流下的灵敏度分别为0．001dB／A与0．09dB／A，说明了基于MEMS技术的光学电流传感器具有一定的研究价值。

关键词：光学电流传感器 微电子机械系统 扭转微镜 温度补偿 耦合损耗 

单位：中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室; 上海市长宁区200050